ГОСТ Р 8.644-2008

ГОСТ Р 8.644-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки

Скачать ГОСТ Р 8.644-2008 Текст документа
Информация о ГОСТ Р 8.644-2008
Категории ГОСТ Р 8.644-2008 по ОКС:
Статус документа:
действует, введён в действие 01.06.2009
Название на английском языке:
State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for calibration
Вид документа:
Основополагающие стандарты
Дата начала действия:
2009-06-01
Последнее изменение в стандарте:
2010-03-26

Коды документа ГОСТ Р 8.644-2008:

Код КГС:
Т88
Кол-во страниц:
20
Назначение ГОСТ Р 8.644-2008:
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер
Ключевые слова документа:
лазерный интерферометр, методика калибровки, рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп

Cсылки из текста ГОСТ Р 8.644-2008 на другие нормативные документы:

Скачать ГОСТ Р 8.644-2008 бесплатно в PDF

В данный момент версии документа не доступны для скачивания.

Вы можете загрузить Ваши документы и помочь другим пользователям, это займёт у Вас 1 минуту.

Поделись своей библиотекой стандартов с другими!
    Для загрузки Вы можете выбрать один или несколько файлов форматов PDF, DOC, DOCX (MS Word), ODT (Open Office) ZIP или RAR. Максимальный размер одного файла - 10 Мб.