ГОСТ Р 8.644-2008
ГОСТ Р 8.644-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки
Категории ГОСТ Р 8.644-2008 по ОКС:- Статус документа:
- действует, введён в действие 01.06.2009
- Название на английском языке:
- State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for calibration
- Вид документа:
- Основополагающие стандарты
- Дата начала действия:
- 2009-06-01
- Последнее изменение в стандарте:
- 2010-03-26
Коды документа ГОСТ Р 8.644-2008:
- Код КГС:
- Т88
- Кол-во страниц:
- 20
- Назначение ГОСТ Р 8.644-2008:
- Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер
- Ключевые слова документа:
- лазерный интерферометр, методика калибровки, рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп
Cсылки из текста ГОСТ Р 8.644-2008 на другие нормативные документы:
Скачать ГОСТ Р 8.644-2008 бесплатно в PDF
В данный момент версии документа не доступны для скачивания.
Вы можете загрузить Ваши документы и помочь другим пользователям, это займёт у Вас 1 минуту.