Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
- Статус:
- действует
- Страниц:
- 12
- Ключевые слова:
- длина, зондовые сканирующие атомно-силовые измерительные микроскопы, материал, монокристаллический кремний, размеры, растровые электронные измерительные микроскопы, рельефные меры нанометрового диапазона, формы
Версий документов для ГОСТ Р-8.628-2007 не найдено